半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。

 

今回は、枚葉機　ZEN　のご案内です。

 

・微細化したウエーハを洗浄したい

・ランニングコストを抑えたい　

 

そんなご要望にお応えする装置でございます。

 

ご希望の処理にあわせて　

 「SPEED」「SOFT」「MULTI」 と3タイプご用意しております。

 

詳細は、ぜひPDFをご覧ください！