半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

Products対応プロセス別製品一覧

ダイキンファインテック株式会社の製品は、MEMS、半導体などの製造に欠かせない洗浄工程をフルサポートしております。

下記、対応するプロセス別の製品一覧となります。
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製品名 対応プロセス
RCA洗浄 窒化膜除去 酸化膜除去 ポリマー除去 レジスト剥離 シリコンエッチング 犠牲層エッチング メタルエッチング 現像 パーティクル除去 リフトオフ CMP後スラリー除去 構造体乾燥
S-FORM
TH
(カセット)
ZEN
BSP
KJ
(カセットレス)
BLO
CLO
SLO
FLO
MLO
HFE
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