半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

Products対応プロセス別製品一覧

ダイキンファインテック株式会社の製品は、MEMS、半導体などの製造に欠かせない洗浄工程をフルサポートしております。

下記、対応するプロセス別の製品一覧となります。
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製品名	対応プロセス
	RCA洗浄	窒化膜除去	酸化膜除去	ポリマー除去	レジスト剥離	シリコンエッチング	犠牲層エッチング	メタルエッチング	現像	パーティクル除去	リフトオフ	CMP後スラリー除去	構造体乾燥
S-FORM	○	○	○	○	○	○	○	○	○
TH (カセット)	○	○	○	○	○	○	○	○	○
ZEN				○	○					○	○
BSP										○		○
KJ (カセットレス)	○	○	○	○	○
BLO				○	○						○
CLO				○	○					○	○
SLO				○	○						○
FLO				○	○					○	○
MLO				○	○						○
HFE				○									○

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