ZEN
枚葉式マルチプロセッサ
多彩なチャンバー形態で、
様々なプロセスニーズに対応出来るシングルプロセッサー。
高濃度オゾン、高温硫酸対応により硬化レジストにも安定した剥離対応が可能。
超音波、二流体、高圧JETなど豊富な処理レパートリーからの選択で、用途に合わせた処理を実現。MEMS、半導体、LED、太陽電池等あらゆる分野のプロセスニーズに対応。
特長
| マルチプロセス | 多薬液の回収・リユース処理が可能 |
|---|---|
| モジュール構造 | 各チャンバーモジュール対応で最大8チャンバー搭載可能 |
| ランニングコストの大幅削減 | 従来のレジスト剥離処理コストの1/16まで削減 |
対応プロセス
パーティクル除去・レジスト剥離・リフトオフ・ポリマー除去