薬液供給ユニット
薬液供給ユニット
大型から小型まで、ニーズに合わせた薬液供給のトータルシステムをご提案
製造装置側からの要求信号で薬液をセントラルユニットから製造装置付ユニットへ送液することが可能。
全薬液供給ユニットのメイン制御BOXでの監視にも対応。
特長
| 大容量セントラルユニット | 液容量100L～400L対応 |
|---|---|
| 装置付帯ユニット | 液容量18L～100L対応 |
| 細やかなユニット監視 | メイン制御BOXで全ユニット、サブモニターで各部屋、フロア毎のユニット監視が可能 |
| 分岐供給対応 | バルブBOXにて複数台の設備に分岐供給が可能 |