ウエーハ乾燥機
スピンドライヤー
最先端プロセスで培った洗浄装置製造ノウハウを洗浄プロセスパーツにフィードバック
スピン乾燥で懸念されるウエーハの割れやパターン倒壊を、独自開発のウエーハダメージレスシステムで極限まで解消。
ワークサイズは3インチから8インチ、厚みは150㎛から725㎛まで幅広く対応。
オプションでオートバランサー制御による短時間での乾燥処理も可能に。
特長
| 豊富なバリエーション | ウエーハサイズに幅広く対応しており、マニュアルタイプ、インラインタイプの選択も可能 |
|---|---|
| コンタミネーション対策 | 軸受部に特殊シール構造を採用し、摺動部のコンタミネーション混入を防止 |
| ウエーハストレスの低減 | 割れやすいウエーハへのストレスを低減できるダメージレスシステムを開発(オプション対応) |