半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

スピンコーター

スピンコーター

段取り替えで各種ウエーハサイズに対応したマルチなスピンコーター

スピンコーター 製品写真

安定したスピン駆動で塗布ムラを低減し、高いユニフォミティを実現。

特長

各種薬液対応 ご要望の薬液特性に合わせた装置構成をご提案
安定した薬液供給 徹底した液量管理で均一供給

対応プロセス

レジスト塗布