半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

洗浄能力、薬液使用量削減など各種ご要望に合わせた設計対応が可能。
石英管以外の部品洗浄装置にも対応。

特長

環境負荷の低減	回転機構を採用し薬液使用量を削減
安全性への配慮	自動開閉槽カバーの設置で薬液雰囲気を遮断
多様なカスタマイズ	ご要望に応じたご提案